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INFICON氣體分析儀MPH100F九個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)分?jǐn)?shù)
更新時(shí)間:2021-05-10   點(diǎn)擊次數(shù):1024次

INFICON氣體分析儀MPH100F九個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)分?jǐn)?shù)

 

持續(xù)上升的硅晶圓價(jià)格以及對(duì)成品的需求意味著廢棄晶圓需要付出的代價(jià)。因此,在半導(dǎo)體制造中心了解過(guò)程并監(jiān)測(cè)Transpector MPH兼有具總擁有成本低和平均故障間隔時(shí)間長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn),

 

在幫助您贏利方面的作用所在城市表面的任何其他殘余氣體分析儀(RGA)。

INFICON利用在氣體分析過(guò)程控制設(shè)備領(lǐng)域的專(zhuān)長(zhǎng)制造的RGA所有這些特性都不會(huì)犧牲INFICON Transpector氣體分析儀一貫出色的可靠性。

 

  • 大模擬掃描和預(yù)期的數(shù)據(jù)速率為每點(diǎn)1.8 ms
  • TCP / IP以太網(wǎng)連接
  • 雙絲極
  • 可現(xiàn)場(chǎng)更換電子倍增器
  • 組合陽(yáng)極,鹵素和反射極絲極套件
  • *傳感器可降低安裝體積
  • 九個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)分?jǐn)?shù)
  • <2E-15 Torr的MDPP(100 amu)
  • 信噪比更高
  • 可調(diào)換傳感器和電子元件
  • 傳感器在潔凈室環(huán)境中裝配,測(cè)試并進(jìn)行雙層包裝
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